金属成分分析的简介
表面与微区成分分析
X射线光电子能谱(X-ray Photoelectron Spectroscopy, XPS);(10纳米,表面)
俄歇电子能谱(Auger electron spectroscopy,AES);(6nm,表面)
二次离子质谱(Secondary Ion Mass Spectrometry, SIMS);(微米,表面)
电子探针分析方法;(0.5微米,体相)
电镜的能谱分析;(1微米,体相)
电镜的电子能量损失谱分析;(0.5nm)
为达此目的,成分分析按照分析手段不同又分为光谱分析、质谱分析和能谱分析。
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