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分子泵常见的故障问题:
1、分子泵为何会发生半边热,半边冷的现象?
2、分子泵使用中发现油发黑,请问油为什么会发黑?或者多长时间油才会变黑?
3、分子泵在运转过程中,出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常,之后又下降至一定频率,再恢复到正常,反反复复,更换电源后现象仍如此,请问该现象如何解释?
4、分子泵轴承为什么会烧毁
5、有防护网保护,为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内?
6、真空度很好的情况下,分子泵油为何会返到前级管道?
7、正常使用下,为什么分子泵油池会出现裂纹或者变形?
8、分子泵中经常掉出顶丝、镙钉等物体,如M5的顶丝等,请问是否对分子泵的使用有影响?应如何解决?
9、胶圈口分子泵要用多少卡钳,怎么使用才安全?
10、变频器电源在什么情况下会造成程序丢失或者错乱?
11、分子泵噪音大如何界定?是否有合格标准,爱发科分子泵维修养护,是多少?
12、分子泵是否对冷却有明确要求?如果风冷需要外界温度是多少?如水冷则对水有何具体要求?如未达到要求会出现什么后果?
13、分子泵电源存在接地、屏蔽等问题,应如何做才是很佳方式?
14、变频器电源,转速上升过程中就自动关机,即显示“Poff”?
15、分子泵叶片破碎的原因?
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鉴定充分肯定了公司的技术研发、制造工艺以及检测能力,公司在科技部02专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”——《磁悬浮分子泵系列产品开发与产业化》重大专项研制成果基础上,成功研制新一代智能化、一体化的磁悬浮分子泵。经过质询和讨论,鉴定很终鉴定意见为:公司研制的磁悬浮分子泵系列产品为国内首台(套),具有自主知识产权,主要性能指标达到水平,取得了显著的经济及社会效益,建议进一步推广应用。
作为中国真空技术者,公司始终以“创新科学仪器,发展企业”为使命,以电子光学和真空技术,打造科学仪器设备及装备制造国家队,在“十四五”规划的新征程,立足新发展阶段、坚持新发展理念、构建新发展格局,为强化国家战略科技力量、实现科技自立自强做出新的贡献。
操作注意事项不能在前级泵工作时(前级管道接通)和真空室处于真空状态时将涡轮分子泵停掉,否则将会使油蒸汽迅速从前级管路返流到泵的清洁端。分子泵系统在停机充干燥气体前,一定要先将分子泵冷却水关闭,且要从泵的高真空端充气。决不能从泵的前级管路进行充气。选择抽气系统前级泵的大小时,应使涡轮分子泵的前级保持在分子流状态下。不能让涡轮分子泵在低于额定工作转速下运转。
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随着真空泵使用范围越来越广,了解其相关参数对于之后的生产工作的展开十分重要。1、抽气速率(体积流率):当泵装有标准试验罩并按规定条件工作时,从试验罩流过的气体流量与在试验罩上位置测得的平衡压力之比。简称泵的抽速。即在一定的压力、温度下,真空泵在单位时间内从被抽容器中抽走的气体体积。
极限压力(极限真空):泵装有标准试验罩并按规定条件工作,在不引入气体正常工作的情况下,趋向稳定的比较低压力。即真空泵的入口端经过充分抽气后所能达到的比较低的稳定的压力。3、起动压力: 泵无损坏起动并有抽气作用的压力 4、前级压力: 排气压力低于一个大气压力的真空泵的出口压力。 5、比较大前级压力:超过了能使泵损坏的前级压力。
比较大工作压力:对应比较大抽气量的入口压力。在此压力下,泵能连续工作而不恶化或损坏。 抽气量: 流经泵入口的气体流量。 压缩比:泵对给定气体的出口压力与入口压力之比。分子真空泵主要是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使气体分子获得定向运动的速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵牵引分子真空泵,气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量,被驱送到泵的出口。
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